职称：副教授，硕士生导师

主要研究方向：激光等离子体及其应用 (极紫外光刻光源/等离子体光谱/短波长等离子体光源)、原子分子结构及动力学

招生专业：粒子与原子核物理、原子与分子物理、能源动力

邮箱：libw@lzu.edu.cn

一、主要学历或学术经历

2013年获爱尔兰都柏林大学原子与等离子体物理专业博士学位

2014年至今为3118云顶集团官网副教授。曾在北京计算科学研究中心量子光学与量子信息实验室及日本国家聚变科学研究所进行访问研究。

二、主讲课程

数学物理方法(本科生)/科学研究方法与科学素养(研究生)

三、主要成果

近年来一直从事极紫外光谱和激光-物质相互作用方面的研究工作并获得了一些有特色的研究结果。在Appl. Phys. Lett.、Phys. Rev. A、和Opt. Express等期刊已发表相关论文60余篇。（欢迎校内外同学进组读研究生，科研经费有保障）。 

1．极紫外(EUV)和超极紫(BEUV)光刻光源

研究内容：极紫外光刻机被誉为工业皇冠上的明珠，也是我国目前面临的“卡脖子”问题之首。本人自2010年开始从事EUV和BEUV光刻光源的理论和实验研究工作，拥有完整的模拟程序。曾主持国家自然科学基金青年基金项目“与超极紫外光刻光源(6.X nm)相关的原子和辐射过程”(2015.01-2017.12)，作为主要完成人参与甘肃省科技厅国际科技合作专项“极紫外光刻光源中若干技术问题研究”(2014.07-2016.07)。2022年5月-2023年1月，针对国内极紫外光刻机研发的需要，主持并短期内完成了国内企业委托的开发项目，开发的仿真软件已交付企业使用且反馈良好。目前正主持国家自然科学基金面上项目“激光-锡等离子体极紫外光刻光源中的原子物理和辐射优化”(2024.01-2027.12)。

研究亮点：(1)参与发表了迄今为止关于BEUV光源方面近半数的学术论文，包括Appl. Phys. Lett.期刊13篇。(2)基于大阪大学GEKKO XII装置，获得了目前报道的BEUV光刻光源目前最高的转换效率，该工作获得了《Nature Photonics》题为“More efficient plasmas”的专题报道（“Kensuke Yoshida and co-workers from Japan, Ireland and China have now achieved one of the highest conversion efficiencies to date by using twelve laser beams to produce spherical plasmas.”）。(3)发表于J. Phys. B的题为“Spectroscopy of highly charged ions and its relevance to EUV and soft x-ray source development”的文章被选为研究亮点 (Highlights 2015)。

2．短波长等离子体光源和聚变等离子体诊断

研究内容：短波长等离子体光谱模拟；光-原子、电子-原子和电子-分子相互作用中的双电子复合过程、电子碰撞激发/电离/双电离过程、光电离过程及电荷交换过程中的辐射级联谱计算。论文发表于(Phys. Rev. A, 85 (2012) 012712; 85 (2012) 052706; J. Phys. B 49 (2016) 155201; JQSRT 285 (2022) 108179；PPCF 65(2023)105004;A&A 689 (2024) A322)等期刊。

研究亮点：提出了基于碰撞等离子体的可调光源“水窗”生物样品成像原型，已获授权发明专利2项。我们对于发展“水窗”生物样品成像仪、激光辅助放电短波长等离子体光源及激光核素诊断谱仪有非常大的兴趣，与SiriusXT公司创始成员同期就读于都柏林大学激光实验室，欢迎咨询。

近期论文列表：

[1] Yunliang Song (本研贯通),Runjia Bao, Bowen Li, Ximeng Chen, Electron-impact double ionization cross sections and rate coefficients for Be-like ions: B+ to Ne6+, A&A, 689 A322 (2024) (电子碰撞双电离；顶级期刊，自然指数期刊)；

[2] Yunliang Song, Yuwei Ma, Bowen Li, Ximeng Chen, A comparative study of total and partial ionization cross sections, branching ratios and fragmentation patterns of XH4 (X = C, Si, Ge, Sn, Pb), Phys. Scr. 99 115403 (2024) (极紫外光刻多层膜清洗和防护)；

[3] Yuwei Ma, Yunliang Song, Bowen Li, Electron-impact ionization cross section of fusion-relevant diatomic molecules containing B, Eur. J. Phys. D 78, 120 (2024) (聚变第一壁材料物理)；

[4] Runjia Bao, Bowen Li,  Benchmark calculation of electron-impact ionization cross sections and rate coefficients of atomic ions in Ar isonuclear sequence, At. Data Nucl. Data Tables, 159, 101663 (2024) (聚变偏滤器降温物理)；

[5] Bowen Li, Ximeng Chen, MCDHF and RCI calculations of energies and radiative rates of Mn VI and Cr V, At. Data Nucl. Data Tables, 157, 101637 (2024) (原子结构计算)；

[6] K. Ida, …Bowen Li,… Overview of Large Helical Device experiments of basic plasma physics for solving crucial issues in reaching burning plasma conditions, Nucl. Fusion 64, 112009 (2024) (仿星器LHD研究进展，本人2014-2019年间曾5次到访NIFS，2019年受聘为NIFS访问副教授，“参与”部分实验工作，该综述属于搭顺风车)；

[7] Runjia Bao, Bowen Li, Maxwellian and non-Maxwellian rate coefficients of the tungsten ions: W46+-W55+, Plasma Phys. Control. Fusion 65 105004 (2023) (超热电子对聚变第一壁材料钨电离的影响)；

[8] Runjia Bao, Junkui Wei, Lei Chen, Bowen Li, Ximeng Chen, Electron-impact ionization of W9+-W10+, Chin. Phys. B 32 063401 (2023) (亚稳态对聚变第一壁材料钨电离的影响)；

了解更多科研论文，敬请看：https://www.researchgate.net/profile/Bowen-Li-29/research